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SIGMAKOKI壓電輔助平臺TADC-602WSPA

產(chǎn)品介紹

XY 軸載物臺,通過在手動載物臺上添加壓電輔助機構(gòu),可以進(jìn)行 20nm 或更小的微調(diào)。 非常適合需要高分辨率位置調(diào)整的手動平臺單元和系統(tǒng)??商峁?25x25、40x40、60x60mm 的載物臺尺寸。

注:

安裝載物臺時,請注意不要讓千分尺支架受到震動。 否則,壓電輔助機構(gòu)可能會損壞。

壓電輔助專用控制器(PASC)的電源關(guān)閉時,壓電輔助的位置調(diào)整將改變,微調(diào)位置將移動。

性能特點

  • 壓電輔助平臺的專用控制器無需任何設(shè)置即可輕松進(jìn)行微調(diào)。
  • 表盤式旋鈕的微調(diào)即使與測微頭結(jié)合使用也可以毫無阻力地使用。
  • 使用壓電輔助控制器(PASC)調(diào)整微調(diào)機構(gòu)。壓電輔助平臺隨附一根壓電輔助控制器連接電纜 (2m)。

技術(shù)參數(shù)

載物臺尺寸 [mm]:60×60

行程軸:XY 軸

粗調(diào)行程 [mm]:±6.5

精細(xì)驅(qū)動行程 [μm]:>30μm

千分尺位置:側(cè)面

行程/旋轉(zhuǎn) [mm] :0.5

千分尺可讀分辨率 [mm] :0.01

壓電分辨率:<20nm

導(dǎo)向方式:延伸接觸球軸承導(dǎo)向

主要材料:鋁

涂層:黑色陽極氧化

負(fù)載能力 [N] :49(5kgf)

行程精度/直線度 [μm] :3

力矩容量max.:

間距 [N?m] :4.9

滾動 [N?m] :4.9

偏航 [N?m] :4.9

力矩剛度

間距 [″/N·cm] :0.6

滾動 [″/N?cm] :0.6

平行度 [μm] :50

正交性 [μm] :10

運行平行度 [μm] :20

重量 [kg] :0.5

產(chǎn)品尺寸


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