HEPHAIST定位平臺(tái)NAF3C-10-01P

滑塊部分采用 “預(yù)載雙滑塊 ”結(jié)構(gòu)，中間板夾在上下兩塊板之間。 每塊板之間放置了大量滾珠，可實(shí)現(xiàn)平滑的平面滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)。 三個(gè)執(zhí)行器位于同一平面上，因此結(jié)構(gòu)超薄、簡(jiǎn)單。 這有助于實(shí)現(xiàn)小型化和低重。

超薄、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單

高精度定位

高剛性

節(jié)省空間

任意設(shè)置旋轉(zhuǎn)中點(diǎn)

超精度平臺(tái) HW 系列：進(jìn)給機(jī)構(gòu)采用 “滾珠絲杠+楔形減速機(jī)構(gòu)”。 此外，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌配備了 “交叉滾柱導(dǎo)軌”，從而實(shí)現(xiàn)了高跟蹤、高精度和高剛性的超精度平臺(tái)。

Z 傾斜平臺(tái)：帶有三個(gè)楔形 Z 軸模塊的傾斜平臺(tái)。平臺(tái)放置在需要調(diào)整角度的物體底部，高度和水平度可通過(guò)每個(gè)推桿的垂直運(yùn)動(dòng)進(jìn)行調(diào)整。工作臺(tái)和推桿之間的連接采用本公司生產(chǎn)的球面軸承 (SRJ)。

Z 軸平臺(tái)：高負(fù)荷、高剛性、高分辨率、省電的推桿，是在狹小空間內(nèi)沿 Z 軸方向定位和校準(zhǔn)重物的適配選擇。

XYθ 平臺(tái)（對(duì)中平臺(tái)）：超薄平臺(tái)，其電動(dòng)執(zhí)行器布置在同一平面內(nèi)，使整個(gè)系統(tǒng)的重較低。

產(chǎn)地：日本

行程：XY ± 2 mm，θ ± 2°

工作臺(tái)尺寸：100 x 100 mm

底座尺寸：120 x 120 mm

高度：35 mm

重復(fù)定位精度：±1 µm 以?xún)?nèi)

移動(dòng)誤差：3 µm 以?xún)?nèi)

靜止時(shí)的負(fù)載能力(等分布垂直負(fù)載）：200 N

移動(dòng)時(shí)的負(fù)載能力(垂直均布負(fù)載）：100 N

平行度：30 μm

步進(jìn)電機(jī)型號(hào)：PK513PA

滾珠絲杠導(dǎo)程：1 mm

驅(qū)動(dòng)器類(lèi)型：步進(jìn)：MC-S0514-3L

步進(jìn)分辨率(默認(rèn)設(shè)置）：0.2 μm/pulse

伺服分辨率(默認(rèn)設(shè)置）：0.1 μm/pulse

光電微傳感器：PM-L25

平臺(tái)材料：鐵-低溫黑鉻處理；鋁-黑色陽(yáng)極氧化處理

質(zhì)量：2.2 kg

潤(rùn)滑劑：低塵潤(rùn)滑脂

平臺(tái)高速運(yùn)行 、懸掛在天花板上