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PETER WOLTERS拋光機AC microLine 1500

產品介紹

LAPMASTER WOLTERS 為需要準確結果的半導體客戶提供可靠的晶圓拋光機。我們?yōu)榫A和基板的高精度表面技術提供量身定制的解決方案。例如在 Silicon Prime Wafer 和 LED 市場。硅、藍寶石、砷化鎵、碳化硅等用于制造微電子、微光學和微機械器件的材料。我們適用于各種直徑基材的研磨、研磨、機械和化學拋光機可提供準確的工藝結果。LAPMASTER WOLTERS 是硅晶片拋光機的主要供應商,可拋光直徑達 450 毫米。

性能特點

  • 快速、符合人體工程學的裝卸
  • 外擺式上工作盤,以良好方式進入工作區(qū)域
  • 用戶友好、直觀的操作
  • 良好的加工效果和高的精度
  • 運行成本低
  • 個性化流程開發(fā)
  • 低維護/友好

技術參數

  • 機器尺寸[高×寬×深] [mm]:2510×3560×2900
  • 不含控制柜的機器重量[kg]:8200
  • 最大工件高度[mm]:125
  • 最大工件直徑[mm]:500

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